为针对DIODE、MOSFET、IGBT 等产业组件的晶圆测试。
PEGASUS PG2000D是一台双面四线探针结构的探针台，此结构可消除探针平台上的阻抗问题，使其对测试结果的影响降到最低，可让被测组件更接近于工程设计之要求。
性能特点
落地一体式设计，体积轻巧
支持Windows系统，中文软件接口，实时mapping图显示
按键搭配游戏杆的简易操作，轻松实现所有测试要求
高精密马达驱动，提供安静且稳定的运行环境
模块化电控机构，易于维修
双面探针结构，改善测试回路阻抗，测试电流可达30A
可点测3”到8”芯片
可因客户需求提供客制化的设计
提供TTL、RS232通讯方式，可搭配各种测试机
优越的点测速度及极佳的探针针痕
XY轴
架构：高精度循环式滚珠螺杆
行程：210 mm x 210 mm
解析度：0.5 μm
精度：±7 μm (200 mm行程)
重复性：±4 μm
探针手臂
行程：10 μm
分辨率：1.0 μm
精度：≦±2 μm
准确度： ≦±4 μm
平台
材质：高绝缘人造石头版
夹片尺寸：3”/4”/5”/6”/8”
旋转角度：±10.0度
分辨率：0.001度
显微镜
目镜：20x
物镜：1x ~ 4.5x
放大倍率：20x ~ 90x
外观尺寸
90 (D) x 70 (W) x 173 (H) cm (含显微镜及显示屏，不含信号灯)
测试时间
重量
250 KG
选配
各类显微镜
CCD Camera
全中文操作界面，可实时显示Mapping图
