PG2101半自動探針台是針對LED Flip Chip元件所設計的生產線專用點測設備,可以進行下收光及上收光的測試。該探針台極爲適合2"至6”晶圓測試應用。 PG2101高速半自動探針台也可由客戶針對不同應用設定點測速度。PG2101也可根據客戶之不同應用選配各類客制化的chuck盤。
產品特色
適用于各類LED晶片,包括單電極紅黃四元晶粒、雙電極藍綠晶粒、四電極大功率晶粒、倒裝晶粒、高壓交流晶粒等
開啓便捷的遮光罩可有效隔離外界環境光對LED測試的影響使用高像素CCD和內同軸光源,適用於擴張後6“以內LED晶粒
掃描(7mil~80mil)
提供LED專用軟體,上片後一鍵式完成全部操作
可整合LED高速測試機,亦可搭配各大主流LED測試機
落地一體式設計,遮光罩避免背景光干擾,按鍵搭配搖杆操作簡便
支援Windows系統,中文軟體界面,即時mapping圖顯示
提供CCD掃描功能, 實現晶圓擴張後在藍膜上的晶粒定位
靈敏的Edge sensor設計,極小的針痕並延長探針壽命
支持最多4個探針座,分離式探針固定器方便更換探針
支持最多2個打墨器, 提供即時或延時打墨功能
高精密馬達驅動,提供穩定安靜的運行環境
提供TTL、RS232等通訊方式,可搭配各種測試機
XY軸
架構:高精度循環式滾珠螺桿
行程:210mm×210mm
解析度:0.5um
精度:≦±7um(203mm)
準確度:≦±4um(203mm)
Z軸
架構:步進馬達-線性軸承
行程:-0.5 ~ 7.5 mm
解析度:1um
精度:≦±2um
準確度:≦±4um
承重:10KG
Theta角
可調角度:±10度
解析度:0.001度
Chuck盤
材質:石英玻璃
真空開孔:500um孔徑(可特別訂做)
平整度:10um
探針座
X,Y,Z三軸可調
條距解析度:10mil/轉
Edge sensor:彈簧感應式
探針壽命:100萬次接觸以上
可拆式探針固定器,方便換針
顯微鏡
目鏡:20X
物鏡:1x-4.5x
放大倍率:20x-90x
外觀尺寸
84 (D) x 100 (W) x 157 (H) cm(不含顯微鏡、信號燈、 顯示螢幕)
CCD探頭
Telecentric0.8x/1024×768 pixels
掃描區域:8mil×8mil~80×80mil
芯片掃描時間:15k/2分鐘(2 inch)
重量
400KG
真空需求
0.5 cfm at 20" Hg (min)
消耗功率
100~240VAC,47~63Hz,<10A
選配:
支持4個獨立探針座,
2個打墨器
探針卡承接座
CCD Telecentric Lens 0.5X搭配積分球特殊結構設計選配各類顯微鏡
測試時間:
全中文操作介面,可即時顯示Mapping圖並統計良率 搭載積分球示意圖