為針對DIODE、MOSFET、IGBT等產業元件的晶圓測試。
PEGASUS PG2000D是一台雙面四線探針結構的探針台,此結構可消除探針平台上的阻抗問題,使其對測試結果的影響降到最低,可讓被測元件更接近於工程設計之要求。
性能特點
落地一體式設計,體積輕巧
支援Windows系統,中文軟體介面,即時mapping圖顯示
按鍵搭配搖桿的簡易操作,輕鬆實現所有測試要求
高精密馬達驅動,提供安靜且穩定的運行環境
模組化電控機構,易於維修
雙面探針結構,改善測試回路阻抗,測試電流可達30A
可點測3”到8”晶片
可因客戶需求提供客制化的設計
提供TTL、RS232通訊方式,可搭配各種測試機
優越的點測速度及極佳的探針針痕
XY軸
架構:高精度循環式滾珠螺桿
行程:210mm×210mm
解析度:0.5 μm
精度:≦±7 μm(210mm範圍)
準確度: ≦±4 μm(210mm範圍)
探針手臂
行程:10 μm
解析度:1.0 μm
精度:≦±2 μm
準確度: ≦±4 μm
平台
材質:高絕緣人造石頭版
夾片尺寸:3”/4”/5”/6”/8”
旋轉角度:±10.0度
解析度:0.001度
顯微鏡
目鏡:20x
物鏡:1x ~ 4.5x
放大倍率:20x ~ 90x
外觀尺寸
90 (D) x 70 (W) x 173 (H) cm (含顯微鏡及顯示幕,不含信號燈)
測試時間
重量
250 KG
選配
各類顯微鏡
CCD Camera
全中文操作介面,可即時顯示Mapping圖