特点
外观紧凑，重量轻巧，高性价比
可选配不同探针、样品测试平台等选件，符合不同器件测试应用
适用于4”以下晶圆测量
适合于科研/研发器件特性分析
应用
LED晶圆及芯片之光电特性分析
LD/PD等光电器件特性分析
分立器件/MEMS等半导体器件特性分析
其他复合功能材料/陶瓷材料/半导体材料特性分析
技术规格
4”铝合金镀镍载盘
2”/3”/4”三真空孔可切换
X-Y轴移动范围：4”X4”(10μm解析度)
Z轴上下调整距离: 10mm
Theta轴可调(选配)
最多支持4个磁吸式探针座
尺寸：370mmWx370mmDx450mmH(含显微镜)
重量：20kg(含显微镜)
显微镜技术规格
目镜可调倍率：20
物镜放大倍率：0.67 ~ 4.5
最小可视面积：2.7mm直径
LED照明光源
使用条件
电源：AC 100~240V(50/60Hz)
真空：-250mmHg，7公升/分钟
附件
磁吸式探针座2个
铍铜针10根
选配件
镀金载盘
高压探针/高压载盘
微电流探针/电容探针
待测物夹具
探针卡支架/探针卡
变温载盘(室温至200℃)
防震桌
遮光罩
真空泵
