針對功率型DIODE、MOSFFET、IGBT等組件的晶圓測試
PEGASUS FAPG150是一台單面自動化探針結構的探針台，手臂自動取晶圓至預對準器調平及點測位置測試，可提供穩定且快速的測試環境，針對不同應用設定最佳的點測速度與針痕，並可因客戶需求提供客製化的設計。
性能特點
簡易操作平台及搖桿設計
晶圓圖建立及編輯功能
中文Windows操作介面，操作簡易
可建立不同產品設定檔
CCD Wafer自動調平及對位
模組化電控結構，易於維修
高精密馬達驅動，提供安靜的運行環境
可同時放置2組cassette
晶圓平邊(V notch)找尋及調整
TTL/RS232通訊方式，可搭配各廠測試機
優越的點測速度與極佳的探針針痕
可因客戶需求進行客製化設計
X/Y軸
架構：高精度循環式滾珠螺桿
行程：285mm × 250mm
解析度：0.5 μm
精度：≦± 4 μm /203mm
重複性：≦± 4 μm /203mm
Z軸
行程：10mm
解析度：1 μm
精度：≦±4 μm
重複性：≦±4 μm
Theta軸
行程：±10度
解析度：0.001度
載盤
材質 : 高強度鋁合金
尺寸 : 可選擇4” ~ 8”
可選擇使用Hot Chuck
CCD 調平模組
可依客戶晶粒尺寸進行搭配
標準：1/3” 1024X768 CCD
0.5X 鏡頭(ROI: 9.6mm X 7.2mm)
顯微鏡
三眼體視顯微鏡
LED環形光源
倍率：X0.67 ~ X4.5
目鏡：X10 or X20
外觀尺寸
950(D) × 1360(W) × 1730(H) mm (含螢幕，不包含信號燈)
重量
550Kg(不含測試機)
真空
4-6Kgf/cm²
氣壓
0.5MPa
