半自動探針台

  • 產品型號:PG2101
  • 制造原廠:Pegasus Instrument Inc.

PG2101半自動探針台是針對LED Flip Chip元件所設計的生產線專用點測設備,可以進行下收光及上收光的測試。該探針台極爲適合2"至6”晶圓測試應用。 PG2101高速半自動探針台也可由客戶針對不同應用設定點測速度。PG2101也可根據客戶之不同應用選配各類客制化的chuck盤。

產品特色

  • 適用于各類LED晶片,包括單電極紅黃四元晶粒、雙電極藍綠晶粒、四電極大功率晶粒、倒裝晶粒、高壓交流晶粒等

  • 開啓便捷的遮光罩可有效隔離外界環境光對LED測試的影響使用高像素CCD和內同軸光源,適用於擴張後6“以內LED晶粒

  • 掃描(7mil~80mil)

  • 提供LED專用軟體,上片後一鍵式完成全部操作

  • 可整合LED高速測試機,亦可搭配各大主流LED測試機

  • 落地一體式設計,遮光罩避免背景光干擾,按鍵搭配搖杆操作簡便

  • 支援Windows系統,中文軟體界面,即時mapping圖顯示

  • 提供CCD掃描功能, 實現晶圓擴張後在藍膜上的晶粒定位

  • 靈敏的Edge sensor設計,極小的針痕並延長探針壽命

  • 支持最多4個探針座,分離式探針固定器方便更換探針

  • 支持最多2個打墨器, 提供即時或延時打墨功能

  • 高精密馬達驅動,提供穩定安靜的運行環境

  • 提供TTL、RS232等通訊方式,可搭配各種測試機


XY軸

  • 架構:高精度循環式滾珠螺桿

  • 行程:210mm×210mm

  • 解析度:0.5um

  • 精度:≦±7um(203mm)

  • 準確度:≦±4um(203mm)

Z軸

  • 架構:步進馬達-線性軸承

  • 行程:-0.5 ~ 7.5 mm

  • 解析度:1um

  • 精度:≦±2um

  • 準確度:≦±4um

  • 承重:10KG

Theta角

  • 可調角度:±10度

  • 解析度:0.001度

Chuck盤

  • 材質:石英玻璃

  • 真空開孔:500um孔徑(可特別訂做)

  • 平整度:10um

探針座

  • X,Y,Z三軸可調

  • 條距解析度:10mil/轉

  • Edge sensor:彈簧感應式

  • 探針壽命:100萬次接觸以上

  • 可拆式探針固定器,方便換針

顯微鏡

  • 目鏡:20X

  • 物鏡:1x-4.5x

  • 放大倍率:20x-90x

外觀尺寸

  • 84 (D) x 100 (W) x 157 (H) cm(不含顯微鏡、信號燈、 顯示螢幕)

CCD探頭

  • Telecentric0.8x/1024×768 pixels

  • 掃描區域:8mil×8mil~80×80mil

  • 芯片掃描時間:15k/2分鐘(2 inch)

重量

  • 400KG

真空需求

  • 0.5 cfm at 20" Hg (min)

消耗功率

  • 100~240VAC,47~63Hz,<10A

選配:

  • 支持4個獨立探針座,

  • 2個打墨器

  • 探針卡承接座

  • CCD Telecentric Lens 0.5X搭配積分球特殊結構設計選配各類顯微鏡

測試時間:

PG2101-1.png

PG2101-2.png    PG2101-3.png

全中文操作介面,可即時顯示Mapping圖並統計良率                     搭載積分球示意圖