為針對DIODE、MOSFET、IGBT等產業元件的晶圓測試。
PEGASUS PG2000D是一台雙面四線探針結構的探針台，此結構可消除探針平台上的阻抗問題，使其對測試結果的影響降到最低，可讓被測元件更接近於工程設計之要求。
性能特點
落地一體式設計，體積輕巧
支援Windows系統，中文軟體介面，即時mapping圖顯示
按鍵搭配搖桿的簡易操作，輕鬆實現所有測試要求
高精密馬達驅動，提供安靜且穩定的運行環境
模組化電控機構，易於維修
雙面探針結構，改善測試回路阻抗，測試電流可達30A
可點測3”到8”晶片
可因客戶需求提供客制化的設計
提供TTL、RS232通訊方式，可搭配各種測試機
優越的點測速度及極佳的探針針痕
XY軸
架構：高精度循環式滾珠螺桿
行程：210mm×210mm
解析度：0.5 μm
精度：≦±7 μm(210mm範圍)
準確度： ≦±4 μm(210mm範圍)
探針手臂
行程：10 μm
解析度：1.0 μm
精度：≦±2 μm
準確度： ≦±4 μm
平台
材質：高絕緣人造石頭版
夾片尺寸：3”/4”/5”/6”/8”
旋轉角度：±10.0度
解析度：0.001度
顯微鏡
目鏡：20x
物鏡：1x ~ 4.5x
放大倍率：20x ~ 90x
外觀尺寸
90 (D) x 70 (W) x 173 (H) cm (含顯微鏡及顯示幕，不含信號燈)
測試時間
重量
250 KG
選配
各類顯微鏡
CCD Camera
全中文操作介面，可即時顯示Mapping圖
