PG2000半自動探針台是針對LED, MEMS, MOSFET, Diode等半導體元件，及GaAs太陽能晶圓生產線專用點測設備，該探針台極爲適合2"至200mm晶圓或partial wafer測試應用。
PG2000高速半自動探針台也可由客戶針對不同應用設定點測速度。PG2000也可根據客戶之不同應用選配各類探針卡或客制化的chuck盤。
針對LED晶粒點測的性能特點
適用于各類LED晶片，包括單電極紅黃四元晶粒、雙電極藍綠晶粒、四電極大功率晶粒、倒裝晶粒、高壓交流晶粒等
開啓便捷的遮光罩可有效隔離外界環境光對LED測試的影響
使用高像素CCD和內同軸光源，適用於擴張後5“以內LED晶粒掃描(7mil~80mil)
提供LED專用軟體，上片後一鍵式完成全部操作
可整合美國GAMMA專業級RadOMA系列分光光譜儀或維明LED高速測試機，亦可搭配各大主流LED測試機
落地一體式設計，遮光罩避免背景光干擾，按鍵搭配搖杆操作簡便
支援Windows系統，中文軟體界面，即時mapping圖顯示
提供CCD掃描功能，實現晶圓擴張後在藍膜上的晶粒定位
靈敏的Edge sensor設計，極小的針痕並延長探針壽命
支持最多4個探針座，分離式探針固定器方便更換探針，也支持探針卡應用
支持最多2個打墨器，提供即時或延時打墨功能
高精密馬達驅動，提供穩定安靜的運行環境
提供TTL、RS232等通訊方式，可搭配各種測試機
另有Double-Side結構，適合功率半導體元件測試應用
X/Y軸
架構：高精度循環式滾珠螺桿
行程：210mmx210mm
解析度：0.5 um
精度：≦±7 um
重複性：±4 um
Z軸
架構：步進馬達驅動-線性軸承
行程：11.5 mm
解析度：1 um
精度：±≦2um
重複性：±≦4 um
承重：10KG
Chuck盤
可調角度：10度
解析度：0.001度
Theta角
材質：高強度鋁合金（表面鍍金/陽極處理）
真空開孔：200um孔徑（可特別訂做）
平整度：15um
探針座
X,Y,Z三軸可調
調距解析度：10mil/轉
Edge sensor：彈簧感應式
探針壽命：100 萬次接觸以上
可拆卸式探針固定器，方便換針
顯微鏡
目鏡：20x
物鏡：1x~4.5x
放大倍率: 20x~90x
外觀尺寸
90 (D) x 70 (W) x 143 (H) cm（不含顯微鏡、信號燈、顯示螢幕）
重量
200 KG
真空需求
0.5 cfm at 20" Hg (min)
消耗功率
100~240VAC，47~63Hz，<10A
選配
支持4個獨立探針座
2個打墨器
探針卡承接座
CCD Telecentric Lens 0.5X
搭配積分球特殊結構設計
選配各類顯微鏡
CCD探頭
Telecentric Lens 0.8X / 1024X768 pixels
掃描區域：8 x 8 mil~80 x 80 mil
芯片掃描時間：15K / 2分鐘(2 inch)
測試時間
以2“、GaN樣品為例，搭配維明測試機測試速度可達25~30k/hr
全中文操作介面，可即時顯示Mapping圖並統計良率 搭載積分球結構示意圖
