特點
外觀緊湊，重量輕巧，高性價比
可選配不同探針、樣品測試平臺等選件，符合不同器件測試應用
適用於4”以下晶圓測量
適合於科研/研發器件特性分析
應用
LED晶圓及晶片之光電特性分析
LD/PD等光電器件特性分析
分立器件/MEMS等半導體器件特性分析
其他複合功能材料/陶瓷材料/半導體材料特性分析
技術規格
4”鋁合金鍍鎳載盤
2”/3”/4”三真空孔可切換
X-Y軸移動範圍：4”X4”(10μm解析度)
Z軸上下調整距離: 10mm
Theta軸可調(選配)
最多支援4個磁吸式探針座
尺寸：370mmWx370mmDx450mmH(含顯微鏡)
重量：20kg(含顯微鏡)
顯微鏡技術規格
目鏡可調倍率：20
物鏡放大倍率：0.67 ~ 4.5
最小可視面積：2.7mm直徑
LED照明光源
使用條件
電源：AC 100~240V(50/60Hz)
真空：-250mmHg，7公升/分鐘
附件
磁吸式探針座2個
鈹銅針10根
選配件
鍍金載盤
高壓探針/高壓載盤
微電流探針/電容探針
待測物夾具
探針卡支架/探針卡
變溫載盤(室溫至200°C)
防震桌
遮光罩
真空泵
