針對功率型DIODE、MOSFFET、IGBT等組件的晶圓測試
PEGASUS FAPG150D是一台雙面自動化探針結構的探針台，手臂自動取晶圓至預對準器調平及點測位置測試，全圓式夾片盤可提供穩定且快速的測試環境，針對不同應用設定最佳的點測速度與針痕，並可因客戶需求提供客制化的設計。
性能特點
中文Windows操作介面，操作簡易
可建立不同產品設定檔
CCD Wafer自動調平及尋找起測晶粒
模組化電控結構，易於維修
高精密馬達驅動，提供安靜的運行環境
可同時放置2組cassette
預對準器校正wafer
TTL/RS232通訊方式，可搭配各廠測試機
優越的點測速度與極佳的探針針痕
可因客戶需求進行客制化設計
可支援6”和4”夾片盤
簡易操作平臺及搖桿設計
X/Y軸
架構 : 高精度迴圈式滾珠螺杆
行程：285mm × 250mm
解析度：0.5 μm
精度：≦± 4 μm /203mm
重複性：≦± 4 μm /203mm
夾臂
行程：20mm
解析度：1 μm
精度：≦±2 μm
重複性：≦±4 μm
夾片盤
材質 : 聚醚醚酮 Peek
夾片尺寸 :可支援6”or 4”
平台
打墨器 : 1組
抗干擾鋁殼接線盒 : 1組
測試時間
顯微鏡
數位顯微鏡
內建LED光源
倍率：X20 ~ X90
外觀尺寸
1020(D) × 1360(W) × 1465(H) mm (不含螢幕，信號燈)
重量
490Kg(不含測試機)
真空
4-6Kgf/cm²
氣壓
0.5MPa
點測平台
