PG2101半自动探针台是针对LED Flip Chip组件所设计的生产线专用点测设备，可以进行下收光及上收光的测试。该探针台极为适合2"至6”晶圆测试应用。 PG2101高速半自动探针台也可由客户针对不同应用设定点测速度。PG2101也可根据客户之不同应用选配各类客制化的chuck盘。
产品特色
适用于各类LED芯片，包括单电极红黄四元晶粒、双电极蓝绿晶粒、四电极大功率晶粒、倒装晶粒、高压交流晶粒等
开启便捷的遮光罩可有效隔离外界环境光对LED测试的影响使用高像素CCD和内同轴光源，适用于扩张后6“以内LED晶粒
扫描(7mil~80mil)
提供LED专用软件，上片后一键式完成全部操作。
可整合LED高速测试机，亦可搭配各大主流LED测试机
落地一体式设计，遮光罩避免背景光干扰，按键搭配摇杆操作简便
支持Windows系统，中文软件界面，实时mapping图显示
提供CCD扫描功能， 实现晶圆扩张后在蓝膜上的晶粒定位
灵敏的Edge sensor设计，极小的针痕并延长探针寿命
支持最多4个探针座，分离式探针固定器方便更换探针
支持最多2个打墨器， 提供实时或延时打墨功能
高精密马达驱动，提供稳定安静的运行环境
提供TTL、RS232等通讯方式，可搭配各种测试机
XY轴
架构：高精度循环式滚珠螺杆
行程：210mm×210mm
分辨率：0.5um
精度：≦±7um(203mm)
准确度：≦±4um(203mm)
Z轴
架构：步进马达-线性轴承
行程：-0.5 ~ 7.5 mm
分辨率：1um
精度：≦±2um
准确度：≦±4um
承重：10KG
Theta角
可调角度：±10度
分辨率：0.001度
Chuck盘
材质：石英玻璃
真空开孔：500um孔径（可特别订做）
平整度：10um
探针座
X,Y,Z三轴可调
条距分辨率：10mil/转
Edge sensor：弹簧感应式
探针寿命：100万次接触以上
可拆式探针固定器，方便换针
显微镜
目镜：20X
物镜：1x-4.5x
放大倍率：20x-90x
外观尺寸
84 (D) x 100 (W) x 157 (H) cm（不含显微镜、信号灯、 显示屏幕）
CCD探头
Telecentric0.8x/1024×768 pixels
扫描区域：8mil×8mil~80×80mil
芯片扫描时间：15k/2分钟(2 inch)
重量
400KG
真空需求
0.5 cfm at 20" Hg (min)
消耗功率
100~240VAC，47~63Hz，<10A
选配：
支持4个独立探针座，
2个打墨器
探针卡承接座
CCD Telecentric Lens 0.5X搭配积分球特殊结构
设计选配各类显微镜
测试时间
全中文操作界面，可实时显示Mapping图并统计良率 搭载积分球示意图
